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发明专利
已授权
一种具有图形化结构的半导体激光器热沉及其制造方法
📄 申请号:CN202010117958.4
📄 发布日:2025/11/04
著录项目信息
申请日
2020-02-17
公开号
CN111162448B
公开日
2025-03-07
申请人
济南大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H01S5_024
IPC 分类号
H01S5_024
技术画像
所属领域
半导体激光器
半导体激光器
热沉散热结构
微纳加工
应用场景
高功率半导体激光器, 光通信, 激光加工, 激光泵浦, 光电子器件散热
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摘要
一种具有图形化结构的半导体激光器热沉及其制造方法,通过在基体上下表面预先制备了立体图形结构阵列,大幅增加了基体材料的表面积和表面化学键能,提高了与基体材料接触的功能层、过渡金属层I及过渡金属层II的粘附性的粘附性,通过在立体图形结构阵列上制造功能层,有效的结合基体材料和功能层材料热导率或热膨胀系数各自特点,调节符合材料整体的热导率或热膨胀系数,保证与半导体激光器材料本身热失配小的前提下降低热沉材料的热阻,提高散热性能,保证了激光器光电性能和可靠性。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
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当前第 / 件
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