发明专利 已授权

纳秒激光诱导等离子体复合飞秒激光加工装置及加工方法

📄 申请号:CN202111678468.2 📄 发布日:2026/03/24

著录项目信息

申请日
2021-12-31
公开号
CN114571086B
公开日
2023-06-20
申请人
华侨大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

精密微细加工, 微纳制造, 材料表面处理, 航空航天部件加工, 医疗器械制造

摘要

本发明公开了纳秒激光诱导等离子体复合飞秒激光加工装置及加工方法,加工装置包括飞秒激光器、纳秒激光器、聚焦透镜、透明工件、抛光靶材、工作台和夹具;该抛光靶材装设在工作台上,该透明工件装设在夹具且透明工件和抛光靶材上下布置;该纳秒激光器发出纳秒激光,该纳秒激光经聚焦透镜、透明工件聚焦轰击抛光靶材以产生金属等离子体团,金属等离子体团转移至透明工件背面并反射刻蚀透明工件正面以出现石墨化刻蚀;该飞秒激光器发出飞秒激光,该飞秒激光经聚焦透镜聚焦于透明工件并去除出现的石墨化刻蚀。它具有如下优点:在微纳制造领域应用前景巨大,实现工业上的高精密加工质量需求,解决透明硬脆材料工件的加工难题。

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这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN114571086B

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

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