专利交易市场

本发明属于微细加工技术领域，具体公开了一种电场辅助激光诱导等离子体加工透明硬脆材料装置及方法，其中装置包括计算机、激光加工系统、纵向电场发生装置，所述激光加工系统包括激光器、扩束器、反射镜、扫描振镜，所述纵向电场发生装置包含电极片、直流稳压电源；所述计算机与激光加工系统中的激光器相连接；所述纵向电场发生装置通过电极片与透明硬脆材料待加工面上的透明导电薄膜、材料下方的金属靶材相连接形成纵向电场。本发明改进电场施加方式缩短了两极板的间距，使电极间距可达微米级别，在较低电压下可以产生较大的电场力；将透明导电薄膜作为电极，可以使入射激光穿过电极进行加工而不被阻挡，使得加工装置更为简易、加工方式更加灵活。

本实用新型公开一种激光诱导等离子体的装置，包括移动机构和约束腔夹具，所述约束腔夹具安装在所述移动机构的驱动端，且所述的约束腔夹具的夹口位于所述移动机构的一侧外部，所述约束腔夹具用以夹持约束腔，在外力作用下，所述移动机构用以驱动其上的约束腔夹具在水平面内做二维移动或在三维空间内做三维移动，以使激光光路穿过所述约束腔，并击发位于所述约束腔夹具夹口下方的样品表面。在进行激光实验时，样品在所述二维移动机构以外的部分进行直线或蛇形移动，同时，由于约束装置和激光聚焦透镜在空间上互相独立，约束腔的移动不会导致透镜振动，光谱稳定性高；并可通过移动机构调整所述约束腔的空间位置，以使激光能够穿过所述约束腔的开口。

本发明公开了纳秒激光诱导等离子体复合飞秒激光加工装置及加工方法，加工装置包括飞秒激光器、纳秒激光器、聚焦透镜、透明工件、抛光靶材、工作台和夹具；该抛光靶材装设在工作台上，该透明工件装设在夹具且透明工件和抛光靶材上下布置；该纳秒激光器发出纳秒激光，该纳秒激光经聚焦透镜、透明工件聚焦轰击抛光靶材以产生金属等离子体团，金属等离子体团转移至透明工件背面并反射刻蚀透明工件正面以出现石墨化刻蚀；该飞秒激光器发出飞秒激光，该飞秒激光经聚焦透镜聚焦于透明工件并去除出现的石墨化刻蚀。它具有如下优点：在微纳制造领域应用前景巨大，实现工业上的高精密加工质量需求，解决透明硬脆材料工件的加工难题。

本发明公开了激光诱导等离子体进行仿形加工装置及方法，加工装置包括激光器、透镜组件、透明工件、工作台、可升降夹具和异形靶材；该透明工件安装在可升降夹具且通过可升降夹具带动透明工件上下平移，该异形靶材固装在工作台且异形靶材具有基面和凸设于基面的模型，该透明工件和异形靶材基面上下平隔布置，该激光器发出的激光束经透镜组件、透明工件辐射聚焦在异形靶材并与异形靶材发生相互作用产生等离子体，等离子体向透明工件下表面转移且透明工件上下平移以在透明工件下表面刻蚀仿形。它具有如下优点：实现工业上的高精密加工质量需求，工序简单、使用灵活、容易实现、可靠。

本发明公开了激光诱导等离子体辅助双面研磨透明材料的装置及方法，装置包括激光器、上磨盘、金属磨料、透明工件和下磨盘；该上磨盘、下磨盘都固装有上述的一激光器和一金属磨料，该上磨盘、下磨盘都设有贯穿的孔，该透明工件设在上磨盘和下磨盘间；该激光器发出激光束穿过孔并透过透明工件聚焦在金属磨料表面且产生等离子体，等离子体反向轰击透明工件表面以实现改性，通过上磨盘和下磨盘研磨加工透明工件表面。它具有如下优点：能有效消除机械加工表面损伤层，改善加工表面形状精度，既能有效保障加工零件表面达到纳米级表面粗糙度，又能保障整个零件表面达到亚微米级面型精度。