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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN202311354074.0 | 专利名称: | 一种晶圆翻转机构 |
申请日: | 2023-10-19 | 申请/专利权人 | 新亚新智能科技(南通)有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省南通市开发区广州路42号426室(办公用房) |
专利状态: | 授权未缴费 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/687分类检索 半导体专利转让搜索 |
公开/公告日: | 2023-12-29 | 转让价格: | 面议 【平台担保交易】 |
公开/公告号: | CN117316861A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要:本发明属于晶圆技术领域,尤其是一种晶圆翻转机构,包括外壳,还包括安装在所述外壳上的控制屏、摄像头、进出装置、翻转装置以及自锁装置。该晶圆翻转机构,通过设置进出装置,在对晶圆进行翻面时,能够位于外壳的外部进行翻面,不需要在外壳内设置晶圆翻面所需要的空间,不影响机械手拿取下一块晶圆进行清洗,通过移动齿条的移动带动晶圆能够进行前后两个方向的移动,在盛放座位于外壳前方时,便于对晶圆的拿取和放置,位于外壳的后方时,便于对晶圆的翻面,从而能够自动对晶圆实现翻面动作,解决了现有的晶圆清洗完成需要对其进行翻面,通过机械手翻面,降低清洗效率的技术问题。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |