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| 专利/申请号： | CN202510045845.0 | 专利名称： | 一种半导体晶片表面处理设备 |
| 申请日： | 2025-01-13 | 申请/专利权人 | 宣城市新宝宁环保科技有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 安徽省宣城市郎溪县经济开发区分流东路 |
| 专利状态： | 授权未缴费 查询审查信息 | IPC分类号： | H01L21/67 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2025-03-28 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN119725175A | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 8 | 所属领域： | 半导体专利转让搜索 |
应用场景：半导体晶片生产过程中的表面清洁、蚀刻或镀膜处理；提升晶片表面处理效率及质量
摘 要：本发明涉及半导体器件制造技术领域，尤其涉及一种半导体晶片表面处理设备，包括有工作台、清洗箱、主轴、轴座、料框、分驱机构等；工作台上固接有清洗箱，清洗箱上转动连接有主轴，主轴上通过轴座转动连接有料框，料框内用于放置待清洗的晶片，工作台上安装有分驱机构，分驱机构启动后会带动主轴缓慢转动，当料框内的晶片被清洗后，分驱机构会带动料框快速转动。本设备中分驱机构能够带动主轴保持缓慢转动，使主轴带动料框长时间的浸入到清洗箱内，保证充足的清洗时间，并且在清洗时料框为静止状态，以防止将清洗液溅出，当料框移动至主轴上侧时，分驱机构则会带动料框快速转动以将晶片甩干。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2025/04/15 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): H01L 21/67 专利申请号: 202510045845.0 申请日: 2025.01.13 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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