发明专利 已授权

一种半导体晶片表面处理设备

📄 申请号:CN202510045845.0 📄 发布日:2026/02/11

著录项目信息

申请日
2025-01-13
公开号
CN119725175A
公开日
2025-03-28
申请人
宣城市新宝宁环保科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号

技术画像

应用场景

半导体制造, 晶圆加工, 集成电路制造, 芯片生产, 晶片清洗

摘要

本发明涉及半导体器件制造技术领域,尤其涉及一种半导体晶片表面处理设备,包括有工作台、清洗箱、主轴、轴座、料框、分驱机构等;工作台上固接有清洗箱,清洗箱上转动连接有主轴,主轴上通过轴座转动连接有料框,料框内用于放置待清洗的晶片,工作台上安装有分驱机构,分驱机构启动后会带动主轴缓慢转动,当料框内的晶片被清洗后,分驱机构会带动料框快速转动。本设备中分驱机构能够带动主轴保持缓慢转动,使主轴带动料框长时间的浸入到清洗箱内,保证充足的清洗时间,并且在清洗时料框为静止状态,以防止将清洗液溅出,当料框移动至主轴上侧时,分驱机构则会带动料框快速转动以将晶片甩干。

常见问题

这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN119725175A

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该专利的转让价格是多少?

当前标价为 22000.0 元,不含过户费。支持议价,可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

20260811
✅ 授权
20250328
📄 公开
20250415
?? 实质审查的生效 :
¥22000.0
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:76 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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