发明专利已授权

一种热分解薄膜制备反应装置

📄 申请号：CN201810722202.5 📄 发布日：2026/07/20

著录项目信息

申请日

2018-06-26

公开号

CN108588682B

公开日

2023-05-23

申请人

重庆理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C16_455

IPC 分类号

C23C16_455 , C23C16_458 ,

技术画像

所属领域

薄膜制备薄膜制备热分解反应设备化工反应装置

应用场景

功能薄膜制备, 半导体薄膜加工, 新材料合成, 实验室研发, 工业化薄膜生产

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摘要

本发明公开一种热分解薄膜制备反应装置，石英管进口端的内部同轴设有一根供前驱体气溶胶通过的压缩管，石英管出口端处设有密封套，该密封套连接有尾气收集冷却组件，并在石英管出口端外面套有外冷却管；挡气块由条形连接部和遮挡部构成，其中遮挡部为n形结构，遮挡部的连接边顶部与条形连接部底端固定，该条形连接部上的条形孔中穿设有锁紧螺母。本发明设置用于水平放置衬底的沉积舟，该沉积舟具有热解反应腔，并配合第一、二阻热片和压缩管的缩口能让热解反应腔的流场、温度场恒定，从而让衬底近表面气流场、温度场恒定，同时又通过加载短波长光线和加电场的方式提高前驱体前驱体气溶胶的“活性”，最终保证热解反应的顺利进行，提高薄膜的成膜质量。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230523

✅ 授权

20181026

?? 实质审查的生效：

20180928

📄 公开

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