一种热分解薄膜制备反应装置

摘     要：本发明公开一种热分解薄膜制备反应装置，石英管进口端的内部同轴设有一根供前驱体气溶胶通过的压缩管，石英管出口端处设有密封套，该密封套连接有尾气收集冷却组件，并在石英管出口端外面套有外冷却管；挡气块由条形连接部和遮挡部构成，其中遮挡部为n形结构，遮挡部的连接边顶部与条形连接部底端固定，该条形连接部上的条形孔中穿设有锁紧螺母。本发明设置用于水平放置衬底的沉积舟，该沉积舟具有热解反应腔，并配合第一、二阻热片和压缩管的缩口能让热解反应腔的流场、温度场恒定，从而让衬底近表面气流场、温度场恒定，同时又通过加载短波长光线和加电场的方式提高前驱体前驱体气溶胶的“活性”，最终保证热解反应的顺利进行，提高薄膜的成膜质量。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注