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摘 要:本发明公开了一种电子晶片生产用的刻蚀机械,涉及到刻蚀技术领域,包括刻蚀箱、用于限位电子晶片的限位部件,所述限位部件上安装有连接部件,所述刻蚀箱上安装有与所述连接部件连接的驱动部件,所述驱动部件用于通过所述连接部件驱动所述限位部件运动,使所述限位部件带动电子晶片升降以及水平方向上进行往复运动。本发明通过设置驱动部件、连接部件,使电子晶片可以一字排开在刻蚀箱内,并进行水平方向上的往复运动,实现刻蚀箱内的刻蚀液可直接从电子晶片覆盖掩膜的一侧对电子晶片进行刻蚀,提高了电子晶片的刻蚀精度,保障了掩膜的覆盖保护作用,提高了晶圆片的加工质量。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202411597737.6 | 专利名称: | 一种电子晶片生产用的刻蚀机械 |
申请日: | 2024-11-11 | 申请/专利权人 | 三峡大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 湖北省宜昌市西陵区大学路8号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/67搜分类 机械制造搜索 |
公开/公告日: | 2023-03-21 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN115830912A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |