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24小时咨询热线著 录 项 目：
| 专利/申请号： | CN202421985809.X | 专利名称： | 一种便于上料的半导体热板光刻设备 |
| 申请日： | 2024-08-16 | 申请/专利权人 | |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | G03F7/20 分类检索 |
| 公开/公告日： | 转让价格： | 【平台担保交易】 | |
| 公开/公告号： | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 | |
| 浏览量： | 23 | 所属领域： | 半导体专利转让搜索 |
摘 要：本实用新型公开了一种便于上料的半导体热板光刻设备，包括光刻机，所述光刻机的内部安装有换料台，所述换料台的表面固定连接有换料盒，所述换料盒有四个且均匀的分布在换料台的表面，驱动机构，驱动机构包括传动电机，所述传动电机的背面固定连接有固定板，所述固定板的底部固定连接有固定圈，所述固定圈的内壁滑动连接有齿圈，所述齿圈的表面啮合有主动齿轮，所述主动齿轮的顶部与传动电机的底部输出端固定连接，所述固定圈的内壁固定连接有固定筒。本实用新型使用时，在驱动机构和传动机构的作用下，能够对工件进行自动挤压固定，避免了传统光刻机换料台需要手动固定导致的复杂和麻烦，使其具备了自动固定工件的优点。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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