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| 专利/申请号： | CN202121380986.1 | 专利名称： | 一种用于投影光刻机的透镜系统 |
| 申请日： | 2021-06-22 | 申请/专利权人 | 无锡锡科光电科技有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 江苏省无锡市惠山经济开发区智慧路1号清华创新大厦A748 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | G03F7/20 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2022-03-29 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN216145078U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 3 | 所属领域： | 光学工程 半导体制造技术 精密仪器专利转让搜索 |
应用场景：半导体芯片封装；MEMS传感器制造；显示面板加工（如OLED、LCD）；高精度微纳结构图案化
摘 要：本实用新型公开了一种用于投影光刻机的透镜系统，包括在光路上顺序设置的匀光棒、照明透镜组合、反射镜组合及投影透镜组合，匀光棒为设置有中空腔体的条状结构，匀光棒的纵向轴线与照明透镜组合的轴线同轴，反射镜组合包括反射镜、与反射镜相对设置的TIR棱镜及DMD保护窗，投影透镜组合的轴线与照明透镜组合的轴线平行。本实用新型的透镜系统，在照明透镜组合之前设置匀光棒，对入射光先进行匀光处理，再通过照明透镜组合进行放大处理，通过反射镜组合将照明光路与成像光路分开，再通过投影透镜组合再次放大后投影成像。经过该透镜系统处理后的光线，具有较高的均匀度，具有较高的放大倍数同时又兼具高分辨率的性能，分辨率能高达3微米。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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