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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN201910522206.3 | 专利名称: | 一种曲面光刻机 |
申请日: | 2019-06-17 | 申请/专利权人 | 绍兴宝树印染科技有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 浙江省绍兴市柯桥区安昌街道安华公路西侧6幢3楼 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G03F7/20 分类检索 |
公开/公告日: | 2023-04-18 | 转让价格: | 【平台担保交易】 |
公开/公告号: | CN110244524B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
浏览量: | 3 | 所属领域: | 专利转让搜索 |
摘 要:本发明公开了一种曲面光刻机,包括机架、X向运动模组、Y向运动模组、Z向编码板、光刻镜头、连接机构;所述X向运动模组安装于机架内,所述Y向运动模组位于于X向运动模组上方,所述X向运动模组通过连接机构驱动Y向运动模组沿Z向编码板上表面的路径向前移动,所述光刻镜头安装于Y向运动模组上且由Y向运动模组驱动沿Y轴移动。本发明中X向运动模组、Y向运动模组、Z向编码板配合作用,使光刻镜头以曲面工件上表面的形状为路径前进,从而完成对曲面工件上表面的逐行扫描光刻。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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