发明专利已授权

一种芯片生产用光刻机

Name: 一种芯片生产用光刻机
Brand: 四川企服云技术转移有限公司
SKU: 2018107549554
Availability: InStock

📄 申请号：CN201810754955.4 📄 发布日：2025/12/31

著录项目信息

申请日

2018-07-11

公开号

CN108873619B

公开日

2020-11-20

申请人

四川企服云技术转移有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G03F7_20

IPC 分类号

G03F7_20

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备光刻工艺光学系统

应用场景

芯片制造, 集成电路制造, 半导体生产

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摘要

本发明涉及芯片生产设备领域，具体的说是一种芯片生产用光刻机，包括底板、高度调节结构、工作台、检测结构、LED灯、积尘结构和真空泵；底板与用于放置芯片的工作台之间设有调节高度的高度调节结构；工作台的内部设有提供负压的真空泵；工作台上设有用于检测芯片的LED灯与用于放置芯片的检测结构；工作台的底端设有用于收纳灰尘的积尘结构。本发明的真空泵配合检测结构的使用实现了积尘结构的内部负压，便于将检测结构上的芯片上的灰尘废屑压进积尘结构的内部，便于快速的处理光刻后的灰尘，工作台上设置的LED灯配合检测结构的使用便于在处理灰尘的同时对光刻的芯片进行检测，节省了了加工工序的时间，大大提高了工作效率。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN108873619B

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20250808

?? 专利权的转移：

20241129

?? 专利权的转移：

20201120

✅ 授权

20201120

⏳ 专利申请权的转移：

20201113

⏳ 著录事项变更：

20181123

📄 公开

20181218

?? 实质审查的生效：

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：167 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

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