一种半导体制造晶圆光刻设备

著 录 项 目：

摘     要：本实用新型公开了一种半导体制造晶圆光刻设备，包括底座，所述底座的顶部固定连接有支撑板，所述底座的顶部固定连接有机台，所述底座的后侧固定连接有第一电机，所述底座的顶部开设有第一凹槽，所述第一电机的输出端固定连接有位于第一凹槽内的第一螺杆，所述第一螺杆的外侧螺纹连接有第一移动块。本实用新型通过设置第一螺杆与第一移动块，第一电机可带动移动座前后移动，便于对陶瓷盘上快速上料，通过设置第一导流槽与过滤箱，抽风机可从右侧将陶瓷盘上的灰尘吸进过滤箱内，通过设置气管与第二导流槽，抽风机可从左侧对陶瓷盘上吹风，配合第一导流槽抽风，减少陶瓷盘上工作时产生的灰尘，防止残留在晶圆片上。

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2025/05/06	授权