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摘 要:本实用新型提供一种机械臂和机器人,涉及集成电路技术领域,包括臂体和导向组件,在臂体上设置有用于承载晶圆的承载面,在承载面的周侧设置有导向组件,可以在承载面的周侧设置有导向组件,如此,可以在晶圆放置发生一定的偏差时,通过导向组件的引导作用,使得晶圆能够顺利的位于承载面,即通过导向组件的导向作用吸收放置晶圆时的偏差,使得晶圆在具有放置偏差的情况下依然能够准确位于承载面,有效提高机械臂在移送晶圆的过程中晶圆放置的稳定性和可靠性。此外,导向组件在引导晶圆位于承载面后,还可以对位于承载面的晶圆提供限位作用,从而形成引导晶圆进入承载面后,能够较好的保持其所处位置。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202023341492.0 | 专利名称: | 一种机械臂和机器人 |
申请日: | 2020-12-30 | 申请/专利权人 | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B25J15/00搜分类 机器人搜索 |
公开/公告日: | 2021-11-02 | 转让价格: | 1800.0元 |
公开/公告号: | CN214560989U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |