一种晶圆的清洗方法

摘     要：本发明提供一种晶圆的清洗方法，涉及半导体清洗技术领域。该晶圆的清洗方法，包括以下步骤：S1.首先将晶圆置于真空环境中，然后利用强光对晶圆表面进行照射，照射5‑10min之后，关闭光源，将晶圆翻到另一面，继续照射5‑10min之后取出；S2.配置好晶圆清洗液，将晶圆放置于清洗液中，首先让晶圆在清洗液中浸泡15‑30min，然后在使用毛刷对晶圆的表面进行刮刷；S3.将晶圆送入到真空箱体中，再往真空箱体中通入水蒸气，5‑10min之后关闭所有设备。通过利用强光照射、清洗液浸泡、蒸汽处理以及清洗液喷淋等过程，使得晶圆的表面清洗得十分的干净，整个晶圆的清洗方式较为合理，对晶圆表面的清洗效果非常理想，同时晶圆的清洗效率得到了进一步提高。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注