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摘 要:本发明公开了一种半导体抛光用化学机械抛光机,涉及半导体抛光技术领域,其技术方案要点包括:底座和抛光组件,所述抛光组件设置于底座上,用于将工件进行抛光;擦拭组件,设置于底座上,用于擦拭工件;所述抛光组件包括:抛光件,与底座固定连接,用于存储和传输抛光液。一种半导体抛光用化学机械抛光机,效果是:通过电机驱动转动杆正反转动,使与之连接的方块和安装件带动扫除件转动,达到了容器皿的底部以及工件抛光面上的抛光液,被扫除件擦除的效果,且转动杆连接的第二齿轮驱动第一齿轮转动,使伸缩件带动容器皿在抛光件移动,从而达到了在对工件抛光后,对工件进行擦拭的作用,避免了操作人员取出工件时,手部沾染化学抛光液。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202210838344.4 | 专利名称: | 一种半导体抛光用化学机械抛光机 |
申请日: | 2022-07-14 | 申请/专利权人 | 江苏晶杰光电科技有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省徐州市邳州市经济开发区环城北路北侧非晶产业园三期16号厂房 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B24B37/00搜分类 半导体制造 半导体器件 半导体设备 半导体抛光机 半导体工件加工搜索 |
公开/公告日: | 2023-07-14 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN115157107B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |