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| 专利/申请号： | CN201922397414.3 | 专利名称： | 晶圆匣升降台快速卡接机构 |
| 申请日： | 2019-12-27 | 申请/专利权人 | 无锡新微阳科技有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 江苏省无锡市新吴区珠江路49-1号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | H01L21/67 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2020-07-07 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN210956619U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 31 | 所属领域： | 其他专利转让搜索 |
摘 要：本实用新型涉及一种晶圆匣升降台快速卡接机构，属于晶圆检测技术领域，其包括升降台，升降台位于用于对晶圆检测的中测台内，还包括设置在中测台一侧的升降台内的卡接机构，升降台中开设有安置腔，卡接机构位于安置腔内，升降台上还承放有晶圆匣，升降台上还可设有对卡接机构进行导向的导向槽，导向槽与安置腔连通，卡接机构包括多个定位杆、连接杆和定位气缸，安置腔内设置有隔板，定位气缸分别位于隔板的两侧，定位气缸的活塞缸端部与连接杆连接，连接杆远离定位气缸的一端连接定位杆，定位杆的轴线与定位气缸的活塞杆轴线垂直。本实用新型具有对装有晶圆的晶圆匣进行定位，使晶圆匣不易出现晃动和倾倒的效果。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2020/07/07 | 授权 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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