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摘 要:本实用新型涉及一种晶圆匣升降台快速卡接机构,属于晶圆检测技术领域,其包括升降台,升降台位于用于对晶圆检测的中测台内,还包括设置在中测台一侧的升降台内的卡接机构,升降台中开设有安置腔,卡接机构位于安置腔内,升降台上还承放有晶圆匣,升降台上还可设有对卡接机构进行导向的导向槽,导向槽与安置腔连通,卡接机构包括多个定位杆、连接杆和定位气缸,安置腔内设置有隔板,定位气缸分别位于隔板的两侧,定位气缸的活塞缸端部与连接杆连接,连接杆远离定位气缸的一端连接定位杆,定位杆的轴线与定位气缸的活塞杆轴线垂直。本实用新型具有对装有晶圆的晶圆匣进行定位,使晶圆匣不易出现晃动和倾倒的效果。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201922397414.3 | 专利名称: | 晶圆匣升降台快速卡接机构 |
申请日: | 2019-12-27 | 申请/专利权人 | 无锡新微阳科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省无锡市新吴区珠江路49-1号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/67搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 2020-07-07 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN210956619U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |