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摘 要:本实用新型涉及一种晶圆匣防脱落装置,属于晶圆检测技术领域,其包括晶圆匣,所述晶圆匣承放在中测台上,所述中测台一侧设置有用于承放晶圆匣的升降台,其特征在于:所述晶圆匣内壁沿高度方向开设有若干用于卡合晶圆的托槽,所述晶圆匣一侧设置有连接晶圆匣两侧内壁的连接杆,所述升降台顶壁设置有限位块,所述连接杆朝向限位块的一侧设置有对中块,所述限位块背离升降台的一侧开设有供对中块插合的对中槽,所述晶圆匣的两侧外壁均设置有与升降台连接的防脱装置。本实用新型具有在晶圆匣进行承放时不易出现脱落和倾倒的效果。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201922412427.3 | 专利名称: | 晶圆匣防脱落装置 |
申请日: | 2019-12-27 | 申请/专利权人 | 无锡新微阳科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省无锡市新吴区珠江路49-1号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01R1/04搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 2020-10-02 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN211627633U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |