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摘 要:本发明公开了一种带有复合磁场的类金刚石涂层制备装置及其应用,该类金刚石涂层主要是通过利用装配有可旋转的磁芯的中心阳极或纵向电磁线圈,以及正八角机上装配的八组工艺组件形成的闭合磁场,所形成复合磁场下的等离子体制备类金刚石涂层,八组有磁场控制的工艺组件形成闭合的环形磁场,中心阳极的可旋转磁芯上装配有八道磁靴,可与相对应的工艺组件形成横向磁场,纵向线圈在接通电流后可在真空室内形成纵向磁场,两种或三种磁场的相互作用可在真空腔体内形成复杂的复合磁场,可增加电子的自由程,提高粒子的离化率,从而增加碳粒子的活性,获得高质量的类金刚石涂层。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201810159747.X | 专利名称: | 带有复合磁场的类金刚石涂层制备装置及其应用 |
申请日: | 2018-02-26 | 申请/专利权人 | 温州职业技术学院 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 浙江省温州市瓯海区东方南路38号温州市国家大学科技园孵化器 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C14/35搜分类 磁场搜索 |
公开/公告日: | 2023-06-13 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN108374154B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |