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| 专利/申请号： | CN202111067078.1 | 专利名称： | 一种滤光片镀膜装置及镀膜工艺 |
| 申请日： | 2021-09-13 | 申请/专利权人 | 苏州龙盛电子有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省苏州市吴中区胥口镇灵山路789号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | C23C14/35 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2024-02-09 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN113755807B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 3 | 所属领域： | 光学制造技术 薄膜沉积工艺 精密设备设计专利转让搜索 |
应用场景：半导体显示面板生产中的滤光片制备;摄像头模组红外截止滤光片加工;AR/VR光学元件表面处理;激光设备光学涂层应用
摘 要：本发明涉及一种滤光片镀膜装置及镀膜工艺，装置包括腔室，腔室内安装有溅射发生器以及载具，溅射发生器包括放电电极与定位座，定位座内设有多个定位通道，各定位通道内设置有靶材，定位通道始端连接放电电极，载具包括工作盘、旋转机构以及支座，工作盘上端面设有多个收容腔，各收容腔内设置有基片，工作盘底部设有引流单元，引流单元主要由支撑件与引流件组成，引流件用于通电形成电性引流区域；腔室连接有气体控制单元，气体控制单元用于排空腔室内气体或流通等离子体载荷气体，并监控腔室内压力状态。本发明具有可靠的溅射范围，可提高膜间附着强度，镀膜形成的膜层致密性好，均匀性佳，有利于提高滤光片生产质量。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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