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摘 要:本实用新型涉及气相沉积设备技术领域,且公开了一种PE管的外部快速气相沉积装置,包括一级沉积室,所述一级沉积室的上方设置有排气涡轮,所述一级沉积室内对应排气涡轮的上方设置有吸气口,所述一级沉积室内部的底部设置有调整丝杆,所述调整丝杆上设置有两个二级沉积室,所述一级沉积室的下方设置有供气盒。该PE管的外部快速气相沉积装置,通过设置两个缓冲区,有效提高了核心反应区的气体浓度,减少了反应气的泄漏,节约成本的同时,有效保证反应质量,多余的气体溢出二级沉积室后在一级沉积室内继续缓慢反应,两次反应的方式大大提高了沉积速度,可以有效提高生产效率,解决产能不足的问题。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202321675354.7 | 专利名称: | 一种PE管的外部快速气相沉积装置 |
申请日: | 2023-06-29 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C16/44搜分类 管件搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |