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| 专利/申请号： | CN202122330324.X | 专利名称： | 一种一体黑光阻研磨细度监控系统 |
| 申请日： | 2021-09-24 | 申请/专利权人 | 曲桂美 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 山东省德州市平原县湖畔丽园A5三单元1501 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | B24B37/00 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2022-08-30 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN217314952U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 4 | 所属领域： | 半导体制造设备 精密加工检测技术 光学测量系统专利转让搜索 |
应用场景：集成电路晶圆生产线的光刻工艺质量控制;面板显示器件制造中的光阻层均匀性监测;微电子封装环节的精细化研磨参数优化
摘 要：本实用新型涉及监控设备技术领域，具体涉及一种一体黑光阻研磨细度监控系统，包括底板，所述底板的上端固定连接有防护板，所述防护板的侧壁设置有夹紧装置，所述夹紧装置的上端设置有升降装置，所述升降装置的上端设置有监控装置，所述夹紧装置包括U形板，所述U形板设置在防护板的上方，所述U形板的一侧贯穿转动连接有螺纹轴，所述螺纹轴的一端固定连接有转板，所述螺纹轴的另一端转动连接有夹紧板，本实用新型的有益效果是：可以将监控装置夹紧在研磨装置的一侧进行监控，而后根据需要来调整监控的高度，方便监控设备的聚焦，且一旁的照射灯可以给足光源，使得监控效果很好。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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