本实用新型适用真空镀膜机技术领域，提供了一种真空镀膜机的抽气机构，包括：管体和滑柱，所述滑柱滑动连接所述管体，所述管体内部设有第一挡板和第二挡板，所述滑柱滑动连接所述第一挡板，所述滑柱对应所述第一挡板设有间隔布置的球形凸起，两个球形凸起的间距大于所述第一挡板的厚度，所述滑柱滑动连接所述第二挡板，所述第二挡板上设有若干通气部，所述通气部用于单向连通所述第二挡板的两侧空间。借此，本实用新型利用二个挡板，增加了一个真空缓冲腔，实现二次密封，使得真空密封效果更好，同时通风部的动作更迅速，可以实现快速密封，进一步降低了真空泄漏的风险。
📄 2023236311756
📂 C23C14_56
👤 青州市邦朋真空科技有限公司
📅 2023-12-28
本实用新型涉及蒸发舟技术领域，尤其涉及稳定便捷型真空镀膜机的蒸发舟。其技术方案包括蒸发舟主体、蒸发槽和夹层，其特征在于：蒸发舟主体的顶部开设有蒸发槽，蒸发舟主体的两侧固定连接有加热电极块，蒸发舟主体的内部开设有夹层，夹层的内部固定安装有保温夹板，蒸发舟主体的顶部滑动安装有盖板，盖板的内部均匀开设有气孔。本实用新型通过设置有蒸发舟主体、蒸发槽、夹层和保温夹板，工作人员将需要蒸发的材料放在蒸发槽的内部，然后将电源与加热电极块连接，随后开始对蒸发槽内部的蒸发材料进行蒸发沉淀，保温夹板保存了大量的温度避免能量损耗。
📄 2023207899287
📂 C23C14_24
👤 青州市邦朋真空科技有限公司
📅 2023-04-11
本实用新型公开了一种新型真空镀膜工艺室，包括镀箱，所述镀箱顶端安装有电机a，所述电机a的输出端固定连接有转轴a，所述转轴a固定连接有顶架，所述顶架转动连接有镀杆b，所述镀杆b位于镀杆a的外侧，所述顶架通过连接杆固定连接有底架，所述底架转动连接有固定座，所述镀箱铰接有箱门，所述箱门表面安装有气泵a，所述气泵a的出气口延伸到气囊管a的内部，所述气囊管a安装在箱门的表面，所述镀箱安装有气囊管b；电机a和电机b可带动顶架旋转的同时镀杆也旋转，可使镀件镀匀；气囊管a和气囊管b配合可提高镀箱密封效果。
📄 2022222120087
📂 C23C14_50
👤 青州市邦朋真空科技有限公司
📅 2022-08-23
本发明涉及一种纳米复合涂层及其制备技术，具体地说是一种CrAlSiN纳米复合涂层的制备工艺。采用高功率脉冲与直流脉冲共溅射技术在金属或硬质合金基体上制备CrAlSiN纳米复合涂层。选用纯金属Cr、Al和Si（纯度均为99.99 wt.%）作为靶材，其中，高功率脉冲选用Cr靶，直流脉冲溅射选用Al靶和Si靶。镀膜前先通入Ar气，采用‑800 V偏压，对基片进行辉光清洗10~30 min。随后开启三个靶材，对基体和靶材表面进行轰击清洗，并逐渐降低偏压至‑30~100V。关闭Al靶和Si靶，沉积纯Cr过渡层10~40min。通入反应气体N2，并开启Al靶和Si靶，沉积CrAlSiN涂层120~360 min。本发明涉及的CrAlSiN纳米复合涂层综合性能好，制备工艺简单，成分可控，重复性好，容易工业化生产。
📄 2017105185173
📂 C23C14_35
👤 天津职业技术师范大学
📅 2017-06-30
本实用新型公开了一种低成本往复式磁控溅射镀膜生产线，包括能往复传输基材的带式输送线，所述带式输送线上设有若干能相互连通的腔室，各个腔室之间均设有闸板阀，所述腔室至少包括镀膜工艺腔室，所述镀膜工艺腔室内固定设置有靶材，所述靶材沿所述带式输送线的横向设置，形成阴极磁场的磁铁沿所述靶材横向排列，阴极磁场的磁力线顶端方向与基材传输方向平行。本实用新型使用后等离子体在靶材跑道径向的刻蚀在基片径向方向上均匀分布，消除了跑道深度梯度变化对薄膜均匀性的影响，且本方案还降低了大规模生产的设备投入成本。
📄 2022206247633
📂 C23C14_35
👤 南通理工学院
📅 2022-03-21
本实用新型属于镀膜设备技术领域，公开了一种盖板用真空镀膜设备，包括限定弧形主筒，所述限定弧形主筒的一侧通过旋转轴转动连接有二级弧形半筒，所述二级弧形半筒内设有驱动底盘，所述限定弧形主筒远离二级弧形半筒的一侧设有一级弧形半筒，且所述一级弧形半筒通过传动轴与限定弧形主筒转动连接，所述传动轴的侧壁设有传动L型板，且所述传动L型板远离传动轴的一侧与一级弧形半筒的侧壁相连接；卡合组件可与放置杆进行分离，可将需要镀膜的物品在外部直接放置于卡合组件上，当物品放置完成后，再将放有物品的卡合组件与放置杆安装，减少了工作人员进入到二级弧形半筒内部的情况，并且物品放置非常方便、便捷。
📄 2021230538076
📂 C23C14_22
👤 苏州德城机械设备有限公司
📅 2021-12-07
已申报项目
本实用新型公开了真空镀膜机技术领域的一种真空镀膜镀件除尘装置，包括外壳、基片放置板、固定板、滑动块、平移单元、横臂、摆动杆，所述摆动杆下端设有吸气管，所述吸气管通过管路与外部负压设备贯通，所述吸气管由摆动单元驱动其沿与横臂的铰接处摆动。通过外部负压设备工作产生负压，经由吸气管能够对基片放置板上放置的镀件表面进行吸气除尘，另外通过平移单元驱动滑动块水平移动，进而使得吸气管的吸气范围能够扩大，此外，通过摆动单元驱动吸气管进行往复摆动，这样使得吸气管的吸气除尘范围能够进一步扩大，进而提高除尘效率。
📄 202221041302X
📂 C23C14_02
👤 宁波正德泰和触控光电有限公司
📅 2022-04-29
本实用新型涉及真空镀膜领域，具体公开了一种真空镀膜装置，包括镀膜室，所述镀膜室的前侧铰接有密封门；所述镀膜室的顶部设有电机；所述电机的输出端固接有主动皮带盘；所述主动轴和从动轴的底端均固接有圆盘；所述圆盘的底端均开设有滑槽；所述滑槽的两侧均分别滑动连接有一号弧形板和二号弧形板；所述镀膜室内部的底端固接有一组二号弹簧；所述二号弹簧的顶端共同固接有横板；所述横板的顶端固接有一组底端呈开口状的卡杆；本实用新型利用一号弧形板和二号弧形板通过一号弹簧对待镀膜金属管之间产生挤压，从而实现对金属管的固定，且通过卡杆，能够避免待镀膜金属管在旋转的过程中发生碰撞，有利于镀膜的均匀性。
📄 2022209892199
📂 C23C14_00
👤 宁波正德泰和触控光电有限公司
📅 2022-04-25
本实用新型涉及镀膜工件生产领域，具体公开了一种真空镀膜工件自动清洗装置，包括清洗机，所述清洗机的两侧均开设有通孔；所述清洗机内部的两侧均固接有圆管；所述圆管的内侧均固接有弹簧；所述弹簧的另一端均固接有滑杆，且滑杆的另一端均固接有转动座；所述转动座内均转动连接有滚珠；所述圆管的顶端均开设有一号滑孔；所述滑杆的顶端均固接有活动杆；同侧所述活动杆的顶端共同固接有横板；本实用新型在轨道对工件运输的过程中，利用两个滚珠对其夹持，并且在运输的过程中，滚珠随着转动，且调节两个滚珠之间的距离，增强实用性，有利于避免工件在运输的过程中，工件被清水冲击导致和清洗机发生碰撞的情况发生。
📄 2022209854144
📂 B08B11_02
👤 宁波正德泰和触控光电有限公司
📅 2022-04-25
本实用新型公开了一种太阳能硅片真空镀膜载板，涉及太阳能硅片镀膜加工技术领域，该太阳能硅片真空镀膜载板，包括载板本体；还包括：空腔，其一体成型设置在载板本体的表面，空腔连通载板本体的上下两端，且空腔设置有若干并呈矩阵排列均匀分布在载板本体的表面，所述载板本体的表面设置有活动槽，活动槽位于内腔的一端，安装板通过连接座与转动杆进行卡合连接，使得可以通过转动拨盘带动转动杆进行旋转，使安装板从空腔内部掀起，从而可以方便将太阳能硅片从安装板的内部取出，并且转动杆能够一次性将横向一排的安装板一同掀起，从而提高效率和方便拿取。
📄 2024229227120
📂 C23C14_50
👤 厦门市俊亦精密机械有限公司
📅 2024-11-28
本发明公开了一种磁控溅射反应设备换样片装置，包括取样长杆，所述装置还包括圆筒、样片基座及设于取样长杆前部的长杆端部，所述长杆端部包括长杆端头、电磁铁、伸缩机构及微动开关，所述电磁铁、伸缩机构及微动开关设于圆筒内，所述电磁铁设于长杆端头的后方，所述电磁铁后方装设有伸缩机构，所述伸缩机构的尾端伸缩接触微动开关，所述样片基座包括设有凹陷口的尾端，所述长杆端头在尾端的凹陷口进出。本发明运用磁铁吸力实现取样，并使用弹簧和微动开关实现长杆自动脱出，在缩短搬运的时间，且要避免样片在搬运过程中受到损伤，以提高生产效率和成品率，并有利于提高整台设备的密封性，保证了工艺环境的洁净度。
📄 2019105317190
📂 C23C14_35
👤 浙江工业大学
📅 2019-06-19
一种制备高通量薄膜的磁控溅射装置，包括基体、基片台、圆筒、带齿圆环和掩模组件，所述带齿圆环安装在圆筒的上端处，所述掩模组件安装在圆筒的下端处，所述基体位于圆筒内且与带齿圆环可转动连接，基片台安装在基体的底部上，所述基体上设有第一真空电机，第一真空电机的电机轴上设有第一齿轮，所述第一齿轮与带齿圆环的齿形结构啮合，第一真空电机用于驱动基体相对于掩模组件旋转。本发明提供了一种制备高通量薄膜的磁控溅射装置及其制备高通量薄膜的制备方法，该装置结构简单，适用于小型的磁控溅射镀膜机上，一次抽气完成实验并且不需要进行额外的靶材更换操作，就可以按照不同靶材制备出组分呈连续渐变式梯度分布的三元高通量薄膜。
📄 2019113137062
📂 C23C14_35
👤 浙江工业大学
📅 2019-12-19
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