领域：半导体 病原体检测 药物筛选 生物制药  分类： B01L3/00

领域：半导体 基因检测 DNA RNA测序 病原体检测 细胞测序 生物制药  分类： C12M1/34

领域：自动化技术  分类： B23D15/04

领域：半导体  分类： B05C5/02

领域：半导体  分类： H01L21/683

领域：其他  分类： B05C5/02

领域：包装机械  分类： B65H18/10

领域：光学仪器  分类： H01L31/0232

领域：半导体  分类： H01S5/50

领域：集成电路  分类： H01L31/0232

领域：集成电路  分类： H01L31/0203

领域：集成电路  分类： H01L31/0232

领域：半导体  分类： H01L23/48

领域：集成电路  分类： G06F15/173

领域：集成电路  分类： G06F30/392