本发明涉及立式打孔装置技术领域,具体公开了一种用于单晶硅片的立式打孔装置,包括支撑台和安装在支撑台上表面的竖架,所述竖架内侧顶壁设置有引导机构,所述引导机构的外侧上方位置设置有固定座,所述固定座内侧中间设置有打孔机构,所述竖架内侧下方位置设置有平板,所述平板上表面固定连接有圆台,所述圆台外侧沿圆周方向等距离设置有推水机构,所述圆台内侧中间固定连接有罐体,所述罐体上方固定连接有置物盘,所述置物盘上表面开设有圆孔,所述置物盘上表面设置有活动组件,本发明可对圆形单晶硅片打孔时,降低打孔时对硅片的损坏,充分保护单晶硅片。
📄 202211240057X
📂 B28D5_02
👤 南京宏泰晶智能装备科技有限公司
📅 2022-10-11
已申报项目
本发明公开一种全自动智能化半导体衬底片加工设备,包括底座,所述底座上设置有旋转驱动组件,所述旋转驱动组件的输出端设置有旋转环体,所述旋转环体表面围绕所述旋转环体圆心圆周均布有多个碳化硅衬底片安装座,其中一个所述碳化硅衬底片安装座上方设置有和所述底座固定连接的碳化硅衬底块储存桶,所述碳化硅衬底块储存桶一侧设置有能对所述碳化硅衬底块储存桶内的碳化硅衬底块进行底部等厚度切削的往复移动切削组件,降低了碳化硅衬底块切削成碳化硅衬底片后研磨之间的工序加工时间,并且自动送入至研磨装置内进行表面研磨处理,节省了加工时间,整体机械结构设置连贯,提高了工作效率。
📄 2021113354610
📂 B24B37_04
👤 南京宏泰晶智能装备科技有限公司
📅 2021-11-11
已申报项目
本实用新型公开了一种碳化硅晶体生长炉操作台,涉及碳化硅晶体生长炉技术领域,包括操作台主体支架,操作台主体支架的顶部设有台面,台面的中部设有用于安装碳化硅晶体生长炉的槽口,台面为宽面结构,碳化硅晶体生长炉与台面边缘之间构成行走区;操作台主体支架的一侧设有活动连接的下箱体和上箱体,下箱体、上箱体处于抽出状态后,与台面组成梯台;下箱体与操作台主体支架之间设有直线驱动机构,直线驱动机构设置在下箱体内部;下箱体的顶部后方设有用于推动上箱体的推板;在下箱体被推出后,上箱体与操作台主体支架之间设有用于下箱体自动收回操作台主体支架内部的复位装置。
📄 202320403644X
📂 C30B35_00
👤 南京宏泰晶智能装备科技有限公司
📅 2023-03-06
已申报项目
本实用新型公开了一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构,涉及碳化硅晶体生长炉技术领域,包括轨道架,轨道架固定在操作台上,轨道架设置在炉体的一侧,并高于炉体,轨道架内设有适配的移动架,轨道架上设有用于驱动移动架升降的直线驱动机构;移动架的朝向炉体的一侧固定连接有支架立板,支架立板的两端固定设有半圆结构的上叉臂和下叉臂,上叉臂和下叉臂之间固定有加热高频线圈,加热高频线圈套设在炉体的外侧,炉体的外部固定有贯穿在上叉臂和下叉臂的支撑杆,支撑杆的下部与下叉臂之间设有销轴。本实用新型可调节炉内轴向温度梯度,另外,该升降机构可将炉体进行提升,使坩埚外露,方便坩埚的取放,可提高工作效率。
📄 2023204348475
📂 C30B35_00
👤 南京宏泰晶智能装备科技有限公司
📅 2023-03-08
已申报项目
本实用新型公开了一种碳化硅晶体生长炉下盖总成,涉及碳化硅晶体生长炉技术领域,包括炉体下盖,炉体下盖的底部固定连接有盖板,炉体下盖的一侧设有抽气口,盖板的轴心位置贯穿设有转轴,转轴通过轴套固定连接在盖板上;盖板的下方固定设有用于转轴旋转的驱动机构;转轴位于炉体下盖内的一端上固定设有托盘,托盘上固定设有用于放置石墨坩埚的石英管。本实用新型可使放置在炉体内部的石墨坩埚进行旋转,使碳化硅晶体生长的原料受热更加均匀,确保了原料区域气化的量保持一致,另外可使气化上升的原料以旋转的方式落入到籽晶区域,连续不断的这种旋转升华堆叠,可有效提高结晶的一致性,从而提高碳化硅晶体的结晶品质。
📄 2023205940501
📂 C30B29_36
👤 南京宏泰晶智能装备科技有限公司
📅 2023-03-23
已申报项目
本实用新型公开了一种碳化硅晶体生长炉保护气体供气装置,涉及碳化硅晶体生长炉技术领域,包括供气转轴和轴套,供气转轴与炉下盖共轴设置,炉下盖的下方固定有用于供气转轴转动的驱动装置,供气转轴的顶端贯穿炉下盖的底部,延伸至石墨坩埚内,供气转轴的轴心线上设有两端封闭的供气通道,供气转轴位于轴套内的轴截面上设有多个第一通孔,轴套对应第一通孔的位置设有贯穿的第二通孔,第二通孔上连接有供气嘴,供气转轴的顶部沿周向设有多个供气孔,供气孔斜向延伸与供气通道相连通。本实用新型可将气化后的碳化硅气态分子均匀的送入至籽晶面上,确保了坩埚内气流的稳定性,有利提高碳化硅晶锭生长的品质。
📄 2023206148628
📂 C30B23_00
👤 南京宏泰晶智能装备科技有限公司
📅 2023-03-27
已申报项目
本实用新型公开了一种自动供气式碳化硅晶体生长炉,涉及晶体生长炉技术领域,包括支撑架、生长炉,生长炉内设有生长器主体,生长器主体与生长炉内壁构成内腔,生长炉两侧设有通气管,一侧的通气管内设有单向阀,另一侧的通气管贯穿调节室,调节室与生长炉相连,调节室设有旋转盘,旋转盘设有通气孔与封闭垫,生长炉设有固定架,固定架上设有电机,电机的旋转轴设有旋转涡轮,旋转盘的侧边处设有齿纹,旋转涡轮与旋转盘之间齿纹相连,固定架一侧设有检测仪,检测仪的检测柱延伸至内腔内。本实用新型在生长器内对碳化硅进行晶体生长时,其上的通气管根据内部的具体情况进行供气,且设有不同的供气速度,实用性强,适合推广。
📄 2022220684757
📂 C30B29_36
👤 南京宏泰晶智能装备科技有限公司
📅 2022-08-05
已申报项目
本实用新型公开了一种晶体生产掺杂装置,属于领域,一种晶体生产掺杂装置,包括掺杂机,掺杂机上端固定连接有外环,外环内设置有内环,内环内壁固定连接有过滤板,内环右端开设有通槽,内环右端固定连接有与通槽相适配的C型框,C型框内壁固定连接有外管,外管内滑动连接有内管,且内管靠近内环一端贯穿外管并与内环固定连接,外管内壁与内管之间固定连接有压缩弹簧,内环左端开设有第二条形通口,掺杂机左端固定安装有电机,电机输出轴外端套接有拨动板,拨动板远离电机一端贯穿第二条形通口并延伸至外环内侧,其特征是通过生产原料进行筛选过滤实现有效提高生产掺杂效果,从而有效保障碳化硅晶体的产品质量。
📄 202222135097X
📂 B07B1_22
👤 南京宏泰晶智能装备科技有限公司
📅 2022-08-15
已申报项目
本实用新型涉及碳化硅晶体切割领域,具体为一种碳化硅晶体多线切割装置,包括机床和与机床一体的转动门,所述机床内侧壁底端阵列开设有T形滑槽,所述T形滑槽内均滑动连接有T形滑板,数个所述T形滑板顶端共同滑动连接有连接板,所述连接板顶端阵列固定连接有升降气缸。本实用新型通过设置转动门、T形滑槽、T形滑板、升降气缸和固定机构,安装时,先通过外设控制器控制升降气缸,使得原本与切割线干涉的晶体向下运动,与切割线脱离接触,随后人工打开转动门,取消转动门对T形滑板的挤压作用,再拉动连接板,使得T形滑板沿着T形滑槽向外滑动,将安装台从机床内拉出,从而提高使用者操作空间,便于安装和拆卸晶体。
📄 2022221992647
📂 B28D5_04
👤 南京宏泰晶智能装备科技有限公司
📅 2022-08-19
已申报项目
本实用新型公开了一种碳化硅晶体管加工用的定位装置,属于碳化硅加工领域,一种碳化硅晶体管加工用的定位装置,包括固定底座,固定底座前端上表面固定连接有主控架,主控架后侧内端滑动卡接有推进器,主控架中端转动卡接有与推进器螺纹连接的控制螺杆,推进器前端内表面滑动卡接有主控夹头,推进器下端固定连接有连接筒,连接筒下侧内端滑动卡接有滑动活塞,滑动活塞外端滑动卡接有推进活塞,推进活塞外端滑动卡接有连接管,其特征是通过适应夹头的移动自动适应晶片的大小,并通过主控夹头与晶片的挤压控制滑动架固定的同时控制适应夹头向前推进,实现自适应以及便捷定位与固定碳化硅晶片的目的。
📄 2022221901845
📂 B24B41_06
👤 南京宏泰晶智能装备科技有限公司
📅 2022-08-19
已申报项目