实用新型已授权

一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构

📄 申请号：CN202320434847.5 📄 发布日：2026/06/10

著录项目信息

申请日

2023-03-08

公开号

CN219670716U

公开日

2023-09-12

申请人

南京宏泰晶智能装备科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C30B35_00

IPC 分类号

C30B35_00 , C30B29_36 ,

技术画像

所属领域

碳化硅晶体生长碳化硅晶体生长晶体生长炉加热模块升降机构

应用场景

半导体衬底制造, 碳化硅功率器件, 新能源汽车, 射频通信

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摘要

本实用新型公开了一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构，涉及碳化硅晶体生长炉技术领域，包括轨道架，轨道架固定在操作台上，轨道架设置在炉体的一侧，并高于炉体，轨道架内设有适配的移动架，轨道架上设有用于驱动移动架升降的直线驱动机构；移动架的朝向炉体的一侧固定连接有支架立板，支架立板的两端固定设有半圆结构的上叉臂和下叉臂，上叉臂和下叉臂之间固定有加热高频线圈，加热高频线圈套设在炉体的外侧，炉体的外部固定有贯穿在上叉臂和下叉臂的支撑杆，支撑杆的下部与下叉臂之间设有销轴。本实用新型可调节炉内轴向温度梯度，另外，该升降机构可将炉体进行提升，使坩埚外露，方便坩埚的取放，可提高工作效率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种碳化硅晶体生长炉下盖总成

当前第 / 件

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