实用新型已授权

一种碳化硅晶体生长炉操作台

📄 申请号：CN202320403644.X 📄 发布日：2026/06/10

著录项目信息

申请日

2023-03-06

公开号

CN219508074U

公开日

2023-08-11

申请人

南京宏泰晶智能装备科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C30B35_00

IPC 分类号

C30B35_00 , C30B29_36 ,

技术画像

所属领域

晶体生长设备晶体生长设备碳化硅晶体生长工业操作台

应用场景

碳化硅单晶制备, 半导体材料制造, 功率器件衬底, 晶体生长工艺

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摘要

本实用新型公开了一种碳化硅晶体生长炉操作台，涉及碳化硅晶体生长炉技术领域，包括操作台主体支架，操作台主体支架的顶部设有台面，台面的中部设有用于安装碳化硅晶体生长炉的槽口，台面为宽面结构，碳化硅晶体生长炉与台面边缘之间构成行走区；操作台主体支架的一侧设有活动连接的下箱体和上箱体，下箱体、上箱体处于抽出状态后，与台面组成梯台；下箱体与操作台主体支架之间设有直线驱动机构，直线驱动机构设置在下箱体内部；下箱体的顶部后方设有用于推动上箱体的推板；在下箱体被推出后，上箱体与操作台主体支架之间设有用于下箱体自动收回操作台主体支架内部的复位装置。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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C30B35_00 覆盖1个领域

议价

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