实用新型已授权

一种碳化硅晶体生长炉保护气体供气装置

📄 申请号：CN202320614862.8 📄 发布日：2026/06/10

著录项目信息

申请日

2023-03-27

公开号

CN219508069U

公开日

2023-08-11

申请人

南京宏泰晶智能装备科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C30B23_00

IPC 分类号

C30B23_00 , C30B28_12 , C30B29_36 ,

技术画像

所属领域

碳化硅晶体生长碳化硅晶体生长晶体生长炉气体供给系统

应用场景

碳化硅单晶生长, 半导体衬底制造, 化合物半导体材料制备, 电力电子器件

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摘要

本实用新型公开了一种碳化硅晶体生长炉保护气体供气装置，涉及碳化硅晶体生长炉技术领域，包括供气转轴和轴套，供气转轴与炉下盖共轴设置，炉下盖的下方固定有用于供气转轴转动的驱动装置，供气转轴的顶端贯穿炉下盖的底部，延伸至石墨坩埚内，供气转轴的轴心线上设有两端封闭的供气通道，供气转轴位于轴套内的轴截面上设有多个第一通孔，轴套对应第一通孔的位置设有贯穿的第二通孔，第二通孔上连接有供气嘴，供气转轴的顶部沿周向设有多个供气孔，供气孔斜向延伸与供气通道相连通。本实用新型可将气化后的碳化硅气态分子均匀的送入至籽晶面上，确保了坩埚内气流的稳定性，有利提高碳化硅晶锭生长的品质。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种用于粉状代用茶的搅拌机构

当前第 / 件

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