实用新型已授权

一种自动供气式碳化硅晶体生长炉

📄 申请号：CN202222068475.7 📄 发布日：2026/06/10

著录项目信息

申请日

2022-08-05

公开号

CN217948340U

公开日

2022-12-02

申请人

南京宏泰晶智能装备科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C30B29_36

IPC 分类号

C30B29_36 , C30B23_00 ,

技术画像

所属领域

碳化硅晶体生长碳化硅晶体生长晶体生长炉供气控制系统

应用场景

半导体衬底材料制备, 功率半导体器件制造, 新能源汽车, 光伏逆变器

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摘要

本实用新型公开了一种自动供气式碳化硅晶体生长炉，涉及晶体生长炉技术领域，包括支撑架、生长炉，生长炉内设有生长器主体，生长器主体与生长炉内壁构成内腔，生长炉两侧设有通气管，一侧的通气管内设有单向阀，另一侧的通气管贯穿调节室，调节室与生长炉相连，调节室设有旋转盘，旋转盘设有通气孔与封闭垫，生长炉设有固定架，固定架上设有电机，电机的旋转轴设有旋转涡轮，旋转盘的侧边处设有齿纹，旋转涡轮与旋转盘之间齿纹相连，固定架一侧设有检测仪，检测仪的检测柱延伸至内腔内。本实用新型在生长器内对碳化硅进行晶体生长时，其上的通气管根据内部的具体情况进行供气，且设有不同的供气速度，实用性强，适合推广。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种晶体生产掺杂装置

当前第 / 件

零排污循环水池自清洁装置

同领域国内专利 · IPC: (C30B29_36)

C30B29_00 C30B29_02 C30B29_06 C30B29_10 C30B29_12 C30B29_14 C30B29_16 C30B29_20 C30B29_22 C30B29_30 C30B29_32 C30B29_34 C30B29_36 C30B29_40 C30B29_46 C30B29_52 C30B29_54 C30B29_58 C30B29_60 C30B29_62 C30B29_68 覆盖21个领域

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