实用新型已授权

一种碳化硅晶体多线切割装置

📄 申请号：CN202222199264.7 📄 发布日：2026/02/10

著录项目信息

申请日

2022-08-19

公开号

CN219946802U

公开日

2023-11-03

申请人

南京宏泰晶智能装备科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B28D5_04

IPC 分类号

B28D5_04 , B28D7_00 , B28D7_02 ,

技术画像

所属领域

碳化硅晶体半导体材料加工多线切割技术晶体切割设备切割装置碳化硅晶体

应用场景

碳化硅晶片制备, 半导体衬底加工, 功率器件制造, 晶圆切片

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摘要

本实用新型涉及碳化硅晶体切割领域，具体为一种碳化硅晶体多线切割装置，包括机床和与机床一体的转动门，所述机床内侧壁底端阵列开设有T形滑槽，所述T形滑槽内均滑动连接有T形滑板，数个所述T形滑板顶端共同滑动连接有连接板，所述连接板顶端阵列固定连接有升降气缸。本实用新型通过设置转动门、T形滑槽、T形滑板、升降气缸和固定机构，安装时，先通过外设控制器控制升降气缸，使得原本与切割线干涉的晶体向下运动，与切割线脱离接触，随后人工打开转动门，取消转动门对T形滑板的挤压作用，再拉动连接板，使得T形滑板沿着T形滑槽向外滑动，将安装台从机床内拉出，从而提高使用者操作空间，便于安装和拆卸晶体。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种碳化硅晶体管加工用的定位装置

当前第 / 件

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