一种提高氧化物薄膜激光损伤阈值的热处理设备与方法

摘     要：本发明提供一种提高氧化物薄膜激光损伤阈值的热处理设备与方法。该设备包括：样品台，位于腔室的内部，设有石英玻璃衬底和氧化物光学薄膜，该薄膜经由真空热蒸发技术或磁控溅射进行镀膜处理制成；加热装置，位于样品台的上方以及两侧，用于对样品台进行加热；输入气路管，用于将高纯度氧气充入腔室；真空泵，用于对腔室进行抽真空处理，使真空度达到2.0×10‑4Pa；以及负偏压电路，电性耦接至样品台。相比于现有技术，本发明的负偏压电路将电压电位调至500V，施加的电场使充入的高纯度氧气进行辉光放电，形成的氧离子对薄膜表面进行轰击，从而使薄膜晶化并可减少氧化物光学薄膜的表面缺陷。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注