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摘 要:本发明公开了一种界面相为双金属的ZrNiYN纳米复合共格外延涂层,其特征在于,由ZrNiY复合靶材在基体上进行磁控溅射反应沉积而形成的;所述基体为金属、硬质合金、陶瓷或单晶Si。制备方法为:将经抛光处理后的基体送入超声波清洗机,依次用无水酒精、丙酮进行清洗;然后将基体装进真空室,抽真空,用中频对基体进行离子轰击,即进行离子清洗;将基体置入多靶磁控溅射仪并停留在ZrNiY复合靶之前,通过磁控溅射反应沉积获得界面相为双金属的ZrNiYN纳米复合共格外延涂层,其具有超高硬度,可用在干式、高速切削加工刀具以及在摩擦磨损条件服役的部件表面,从而提高刀具及部件表面性能和使用寿命。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202010578871.7 | 专利名称: | 一种界面相为双金属的ZrNiYN纳米复合共格外延涂层及其制备方法 |
申请日: | 2020-06-23 | 申请/专利权人 | 上海理工大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 上海市杨浦区军工路516号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C14/35搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 2022-05-13 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN111575667B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |