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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN201210591451.8 | 专利名称: | 半导体先进过程控制的参数优化控制方法 |
申请日: | 2012-12-30 | 申请/专利权人 | 重庆邮电大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 重庆市南岸区黄桷垭崇文路2号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G05B13/04分类检索 半导体 过程 过程控制专利转让搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 【平台担保交易】 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要:本发明公开了一个半导体先进过程控制(APC)的参数优化控制方法。在半导体工艺过程中,针对间歇过程的优化控制方法,传统方法一般采用线性预测模型。本发明采用基于遗传算法优化的BP神经网络预测模型,通过遗传算法对神经网络的初始权值和阈值进行优化,根据每个染色体所对应的适应度函数F,采用选择操作、概率交叉和变异操作等,并输出最优解,由此确定BP神经网络的最优初始权值和阈值,利用附加动量方法和变学习率学习算法提高BP神经网络的性能,使其经过训练后能很好的预测非线性模型。该方法中遗传算法具有很好的全局搜索能力,容易等到全局最优解,或性能很好的次优解,这对于提高神经网络的建模能力,有很好的促进作用。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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