发明专利已授权

一种二维亚微米蝶形金属微结构的飞秒激光直写制备方法

📄 申请号：CN201710168152.6 📄 发布日：2025/08/26

著录项目信息

申请日

2017-03-21

公开号

CN106735925B

公开日

2018-07-17

申请人

商丘师范学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B23K26_362

IPC 分类号

B23K26_362 , B23K26_067 , B23K26_064 ,

技术画像

所属领域

飞秒激光加工飞秒激光加工微纳制造金属微纳结构

应用场景

微纳传感器, 光学器件, MEMS器件, 生物医学微器件, 表面等离激元器件

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摘要

本发明公开了一种二维亚微米蝶形金属微结构的飞秒激光直写制备方法，技术方案包括以下步骤：第一步，金属靶样品材料的抛光和安装；第二步，可变延迟时间的线偏振和角向偏振双脉冲飞秒激光的获取；第三步，双脉冲飞秒激光的点聚焦；第四步，金属靶样品材料位置的调节；第五步，物镜焦点位置的确定；第六步，金属靶样品材料表面的调整；第七步，二维亚微米蝶形金属微结构的制备；本发明通过巧妙利用微纳米加工平台的分光方法形成两个同色共线传输、时间延迟可调的线偏振和角向偏振飞秒激光脉冲，采用物镜点聚焦方式，方便快速地在金属表面直写制备出条纹方向弯曲的二维亚微米蝶形金属微结构。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20180717

✅ 授权

20170623

?? 实质审查的生效：

20170531

📄 公开

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