实用新型已授权

一种等离子沉积设备

Name: 一种等离子沉积设备
Brand: 广州市鸿浩光电半导体有限公司
SKU: 2022219098406
Availability: InStock

📄 申请号：CN202221909840.6 📄 发布日：2026/09/28

著录项目信息

申请日

2022-07-21

公开号

CN217839128U

公开日

2022-11-18

申请人

广州市鸿浩光电半导体有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C23C16_513

IPC 分类号

C23C16_513

技术画像

所属领域

等离子体沉积等离子体沉积薄膜沉积设备半导体制造设备

应用场景

半导体制造, 集成电路制造, 显示面板制造, 光伏电池制造, 真空镀膜

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摘要

本实用新型提供一种等离子沉积设备，涉及等离子沉积技术领域，包括设备本体，所述设备本体的顶部靠近一侧边缘处固定有控制箱，所述设备本体的顶部靠近另一侧边缘处固定有沉积盒，所述沉积盒的顶部开设有反应室，所述反应室的内部底面沿圆周方向开设有四个滑道，所述反应室的内壁延圆周方向等距固定有四个第一弹簧，四个所述第一弹簧的一端均焊接有弧形板，四个所述弧形板的底部均对应滑动连接在滑道的内部，本实用新型，通过在等离子沉积设备内部设置弧形板，配合弹簧从而可以固定不同大小的物体，解决了传统的等离子沉积设备没法根据现场实际情况固定不同大小的物体，给等离子沉积设备的使用造成了一定局限性的问题。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN217839128U

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：5 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

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