发明专利已授权

单方向发射的氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法

📄 申请号：CN201611181916.7 📄 发布日：2026/09/07

著录项目信息

申请日

2016-12-19

公开号

CN106785899B

公开日

2019-01-08

申请人

南京邮电大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01S5_065

IPC 分类号

H01S5_065 , H01S5_10 ,

技术画像

所属领域

氮化物半导体材料氮化物半导体材料回音壁微腔锁模激光技术

应用场景

光通信, 光子集成回路, 芯片级光源, 超快激光光源, 光学传感

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摘要

本发明公开了一种单方向发射的氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法，在硅衬底上的氮化物材料，利用光刻工艺和硅刻蚀工艺制备悬空非对称环形薄膜微腔，该微腔的水平横截面形状是“圆环+锥角+缺口”，在微腔缺口中修饰金纳米棒作为半导体饱和吸收体，在光泵浦条件下，金纳米棒对微腔中的激光进行选模调制，最终实现单方向发射的氮化物锁模回音壁模激光。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法

当前第 / 件

一种判断共轭芳香烃分子中存在π-π超共轭效应的方法

同领域国内专利 · IPC: (H01S5_065)

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