发明专利已授权

一种氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法

📄 申请号：CN201611181765.5 📄 发布日：2026/09/07

著录项目信息

申请日

2016-12-19

公开号

CN106785896B

公开日

2019-01-08

申请人

南京邮电大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01S5_06

IPC 分类号

H01S5_06 , H01S5_065 , H01S5_10 ,

技术画像

所属领域

氮化物半导体光电子器件氮化物半导体光电子器件微腔激光器锁模激光技术

应用场景

光通信, 集成光电子, 光学传感, 精密测量, 超快光学

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摘要

本发明公开了一种氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法，在硅衬底上的氮化物材料，利用光刻工艺和深硅刻蚀工艺制备悬空的带缺口的环形薄膜微腔，然后在微腔的缺口中修饰金纳米棒作为半导体饱和吸收体，在合适的光泵浦条件下，实现氮化物的锁模回音壁激光。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

雨水回收系统

当前第 / 件

单方向发射的氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法

同领域国内专利 · IPC: (H01S5_06)

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