实用新型已授权

一种用于硅片双面镀膜载板

📄 申请号：CN202422646835.6 📄 发布日：2026/08/11

著录项目信息

申请日

2024-10-31

公开号

CN223292639U

公开日

2025-09-02

申请人

厦门市俊亦精密机械有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C23C16_458

IPC 分类号

C23C16_458 , H10F71_00 ,

技术画像

所属领域

镀膜设备镀膜设备真空镀膜硅片载板

应用场景

光伏电池制造, 半导体制造, 硅片镀膜, 薄膜沉积

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摘要

本实用新型提供了一种用于硅片双面镀膜载板，包括框架，框架由两根纵杆和纵杆之间的若干横杆组成，框架内可拆卸固定有若干载板本体，载板本体设于相邻两根横杆之间；横杆垂直于纵杆，且横杆两端通过第一连接件与纵杆侧面连接，第一连接件一面设有一插槽，横杆两端均设有用于插入插槽内的突出部，第一连接件另一面设有两个第一凸台，第一凸台插入纵杆侧面进行定位，纵杆与第一连接件之间通过第一螺栓进行固定，第二螺栓穿过纵杆和第一连接件与横杆固定；第一连接件两侧均设有支撑台，支撑台上端面与载板本体抵接，并通过螺栓将二者固定。本实用新型结构稳定性更高，且框架零件便于加工。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种育苗用均匀晾晒机构

当前第 / 件

一种微生物高密度发酵专用设备

同领域国内专利 · IPC: (C23C16_458)

C23C16_00 C23C16_01 C23C16_02 C23C16_08 C23C16_18 C23C16_26 C23C16_27 C23C16_30 C23C16_34 C23C16_40 C23C16_44 C23C16_455 C23C16_458 C23C16_46 C23C16_48 C23C16_50 C23C16_505 C23C16_517 C23C16_54 C23C16_56 覆盖20个领域

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