发明专利已授权

小型真空光电测试系统

📄 申请号：CN202110389719.9 📄 发布日：2026/08/07

著录项目信息

申请日

2021-04-12

申请人

青岛科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N21_01

IPC 分类号

G01N21_01 , G01N21_64 , G01N27_00 ,

技术画像

所属领域

光电检测技术光电检测技术真空测试技术光电测量仪器

应用场景

光电器件检测, 真空环境实验, 半导体光电测试, 科研实验, 光电材料表征

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摘要

本发明公开了一种小型真空光电测试系统，真空机构包括真空罩，以及固定在真空罩内的平台底座；真空罩内固定有支撑架；加热机构包括固定在平台底座上的半导体加热片和金属平台；还包括位于真空罩外部，并用于控制半导体加热片温度调节的温控组件；激光激发机构用于向金属平台上的待测样品发射激光；性能测量机构与待测样品电性连接，用于在不同光辐照条件下进行电学信号的采集，完成待测样品的光电性能测试。本发明将待测样品外围电路搭建过程与光电性能探测过程分离，待测样品电路搭建由专业的设备完成，本测试平台可对完成电路搭建的样品通过简便接口连入电路，集中进行光电性能的探测，设备操作方便，成本低，改造扩展升级容易。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

光学字符快速识别方法及系统

当前第 / 件

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