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本发明公开了一种小型真空光电测试系统，真空机构包括真空罩，以及固定在真空罩内的平台底座；真空罩内固定有支撑架；加热机构包括固定在平台底座上的半导体加热片和金属平台；还包括位于真空罩外部，并用于控制半导体加热片温度调节的温控组件；激光激发机构用于向金属平台上的待测样品发射激光；性能测量机构与待测样品电性连接，用于在不同光辐照条件下进行电学信号的采集，完成待测样品的光电性能测试。本发明将待测样品外围电路搭建过程与光电性能探测过程分离，待测样品电路搭建由专业的设备完成，本测试平台可对完成电路搭建的样品通过简便接口连入电路，集中进行光电性能的探测，设备操作方便，成本低，改造扩展升级容易。