发明专利 已授权

一种改善激光烧蚀微孔、槽内表面粗糙度的方法

📄 申请号:CN202110727219.1 📄 发布日:2026/08/07

著录项目信息

申请日
2021-06-29
公开号
CN113478088B
公开日
2022-12-02
申请人
深圳万知达技术转移中心有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

精密制造, 微电子加工, 航空航天零部件加工, 医疗器械制造

摘要

本发明属于微纳米技术领域,具体涉及一种改善激光烧蚀微孔、槽内表面粗糙度的方法,包括以下步骤,S1:使用激光雕刻机对聚合物PMMA基板进行雕刻烧蚀处理,制备所需要的烧蚀孔和烧蚀槽;S2:将雕刻完成的聚合物PMMA基板放置于三氯甲烷溶液;S3:将带有三氯甲烷溶液的聚合物PMMA基板置于超声场;S4:将聚合物PMMA基板从超声场中取出,进行光照处理;S5:待三氯甲烷挥发充分后,使用乙醇溶液清洗聚合物PMMA基板。本发明能够有效改善聚合物PMMA基板微孔、槽表面的粗糙度,提高聚合物PMMA基板微孔、槽内表面的光滑度。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

20240906
?? 专利权的转移 :
20221202
✅ 授权
20211026
?? 实质审查的生效 :
20211008
📄 公开
议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:57 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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