发明专利已授权

一种改善激光烧蚀微孔、槽内表面粗糙度的方法

📄 申请号：CN202110727219.1 📄 发布日：2026/08/07

著录项目信息

申请日

2021-06-29

公开号

CN113478088B

公开日

2022-12-02

申请人

深圳万知达技术转移中心有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B23K26_362

IPC 分类号

B23K26_362 , B08B3_08 , B08B3_12 ,

技术画像

所属领域

激光加工激光加工表面处理微纳加工

应用场景

精密制造, 微电子加工, 航空航天零部件加工, 医疗器械制造

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摘要

本发明属于微纳米技术领域，具体涉及一种改善激光烧蚀微孔、槽内表面粗糙度的方法，包括以下步骤，S1:使用激光雕刻机对聚合物PMMA基板进行雕刻烧蚀处理，制备所需要的烧蚀孔和烧蚀槽；S2:将雕刻完成的聚合物PMMA基板放置于三氯甲烷溶液；S3:将带有三氯甲烷溶液的聚合物PMMA基板置于超声场；S4:将聚合物PMMA基板从超声场中取出，进行光照处理；S5:待三氯甲烷挥发充分后，使用乙醇溶液清洗聚合物PMMA基板。本发明能够有效改善聚合物PMMA基板微孔、槽表面的粗糙度，提高聚合物PMMA基板微孔、槽内表面的光滑度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20240906

?? 专利权的转移：

20221202

✅ 授权

20211026

?? 实质审查的生效：

20211008

📄 公开

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：25 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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