发明专利已授权

一种具有晶粒密堆积结构的高迁移率n型纳米金刚石薄膜及其制备方法

📄 申请号：CN201810247215.1 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2018-03-23

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C16_27

IPC 分类号

C23C16_27 , C23C16_56 , C23C14_48 ,

技术画像

所属领域

纳米金刚石薄膜纳米金刚石薄膜半导体材料薄膜制备技术

应用场景

半导体器件, 电子器件, 场发射阴极, 耐磨涂层, 热管理材料

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明公开了一种具有新颖微结构的高迁移率n型纳米金刚石薄膜及其制备方法：采用热丝化学气相沉积方法(HFCVD)，在单晶硅衬底上制备纳米金刚石薄膜。以丙酮作为碳源，采用氢气鼓泡方式将碳源带入反应室腔体，生长时间约40‑60分钟，制备得到厚度1‑3μm左右的纳米金刚石薄膜，晶粒尺寸10‑30nm，薄膜中非晶碳晶界含量非常少。对该晶粒密堆积纳米金刚石薄膜进行硫离子以及氧离子注入，注入后的样品再进行低真空退火，即得到所述迁移率普遍达到400cm2/V·s以上的n型纳米金刚石薄膜。对于实现金刚石薄膜在半导体器件、光电子领域、场发射显示器等领域的应用具有十分重要的意义和价值。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种纤维素基凝胶电解质的制备方法

当前第 / 件

基于DRS-VGG的端到端深度学习拉曼光谱数据分类方法

同领域国内专利 · IPC: (C23C16_27)

C23C16_00 C23C16_01 C23C16_02 C23C16_08 C23C16_18 C23C16_26 C23C16_27 C23C16_30 C23C16_34 C23C16_40 C23C16_44 C23C16_455 C23C16_458 C23C16_46 C23C16_48 C23C16_50 C23C16_505 C23C16_517 C23C16_54 C23C16_56 覆盖20个领域

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

暂无同领域相似专利推荐

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：23 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)