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发明专利
已授权
一种表面包覆复合薄膜的基底及其制备方法和应用
📄 申请号:CN201910173393.9
📄 发布日:2026/08/04
著录项目信息
申请日
2019-03-07
申请人
浙江工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
C23C16_26
IPC 分类号
C23C16_26
,
C23C16_455
,
C23C16_505
,
H01M8_0228
,
H01M8_0213
,
H01M8_0206
,
B82Y30_00
,
技术画像
所属领域
复合薄膜
复合薄膜
表面改性
基底材料
应用场景
表面防护, 光学器件, 电子器件, 包装材料, 功能涂层
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摘要
本发明属于氢能源技术领域,具体为一种不锈钢表面直接生长类金刚石‑垂直碳纳米管复合薄膜及其制备方法和应用。本发明所述的方法制备表面包覆类金刚石垂直碳纳米管复合薄膜的基底,在PECVD反应室中完成全部生长过程,样品被污染的可能性低,该方法简单,一步实验完成类金刚石薄膜和垂直碳纳米管的同时生长,不需要各种复杂设备;本发明制备的复合薄膜同时具有类金刚石和垂直碳纳米管结构,碳纳米管本身具有优异的导电性加之垂直结构能使得改性后的不锈钢表面达到超疏水效果,致密的类金刚石薄膜能有效防护不锈钢表面被腐蚀液体入侵,提高双极板的耐腐蚀性;表面包覆类金刚石垂直碳纳米管复合薄膜的不锈钢适用于加工低温环境下燃料电池的双极板。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
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