发明专利已授权

弹性模量梯度变化研抛盘的材料去除率测量装置及方法

📄 申请号：CN201910077026.9 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2019-01-27

公开号

CN109848838A

公开日

2019-06-07

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24B37_005

IPC 分类号

B24B37_005 , B24B37_11 , B24B37_34 , B24B49_00 ,

技术画像

所属领域

研磨抛光技术研磨抛光技术材料去除率测量梯度功能材料

应用场景

精密加工, 研磨抛光, 半导体制造, 光学加工, 机械制造

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明公开了一种弹性模量梯度变化研抛盘的材料去除率测量装置及方法，包括X轴运动模组、Y轴运动模组、负压配模调压装置、弹性模量梯度变化研抛盘、抛光机、工作台机架、压力调节反馈装置和调平校准装置实验平台，本发明在传统的平面工整抛光中对被测硬脆材料工件添加了负压配模，可有效的减弱“边缘效应”，引入梯度功能研抛盘理念，实现工件接触表面的接触应力梯度分布，可更大程度的实现工件表面的均匀去除，填补了基于梯度功能研磨盘的硬脆材料均匀去除新型超精密加工技术尚无相关测量试验装置的空白，并提供了一套测试方法，该装置对后续大规模生产和提高加工质量有重要的测试意义。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种基于动态迭代快速梯度的用户隐私保护方法

当前第 / 件

一种电化学NHK反应合成艾日布林中间体的方法

同领域国内专利 · IPC: (B24B37_005)

B24B37_00 B24B37_005 B24B37_013 B24B37_02 B24B37_025 B24B37_04 B24B37_08 B24B37_10 B24B37_11 B24B37_12 B24B37_14 B24B37_22 B24B37_24 B24B37_26 B24B37_27 B24B37_28 B24B37_30 B24B37_34 覆盖18个领域

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

暂无同领域相似专利推荐

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：21 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)