发明专利已授权

一种密堆积纳米金刚石薄膜及其制备方法

📄 申请号：CN202211549878.1 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2022-12-05

公开号

CN115852331B

公开日

2024-11-01

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C16_27

IPC 分类号

C23C16_27 , C23C16_02 ,

技术画像

所属领域

纳米材料纳米材料薄膜材料化学气相沉积

应用场景

切削工具涂层, 耐磨部件, 电子器件散热, 光学窗口, 半导体器件

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摘要

本发明公开了一种密堆积纳米金刚石薄膜。该密堆积纳米金刚石薄膜是利用旋涂种晶工艺，通过热丝化学气相沉积系统制备，该方法有效地降低了薄膜晶界中非晶碳的含量，制备了具有密堆积结构的纳米金刚石薄膜。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种激光-微弧氧化同步复合提高镁合金耐蚀性能的方法

当前第 / 件

一种集耐高盐全天候淡水收集及产电一体的两性离子水凝胶及其制备方法与应用

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