发明专利已授权

一种光学元件表面微小缺陷二维轮廓的检测方法

📄 申请号：CN201910311988.6 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2019-04-18

公开号

CN110006924B

公开日

2021-06-29

申请人

西安工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N21_958

IPC 分类号

G01N21_958

技术画像

所属领域

检测方法光学检测表面缺陷检测图像轮廓分析光学元件检测方法

应用场景

光学元件加工质量检测, 精密光学制造, 工业表面缺陷检测, 光学元件表面质量评估

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摘要

本发明涉及光学表面缺陷检测技术领域，具体涉及一种光学元件表面微小缺陷二维轮廓的检测方法。以克服现有技术存在的结构复杂、测量精度低、数据量大和测量时间长的问题。本发明采用的步骤为：1）激光束经过光束整形系统形成会聚光，会聚光经过样品反射后到达CCD靶面，调整样品位置、姿态，使会聚点位于靶面中心且垂直于CCD靶面，反射点到靶面中心的距离为L；2）光束照在样品表面缺陷区域，CCD上得到散射分布图；3）对散射分布图求出中心位置，以中心位置为基准点，沿不同方向取值可以得到一维的光强分布曲线I(w)；4）重复步骤三的过程，对于散射图在不同的方向上取值，可以获得缺陷在不同取样方向上的宽度值，由此拟合出缺陷的二维轮廓。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

采用负载均衡进行动态调度的拟态Web网关系统及方法

当前第 / 件

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议价

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