发明专利已授权

一种基于偏振参数识别光学薄膜激光损伤的方法和装置

📄 申请号：CN202010338387.7 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2020-04-26

公开号

CN111474182A

公开日

2020-07-31

申请人

西安工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N21_95

IPC 分类号

G01N21_95 , G01N21_21 ,

技术画像

所属领域

偏振光学偏振光学激光损伤检测光学薄膜

应用场景

光学元件检测, 激光设备维护, 光学薄膜质量控制, 高功率激光系统, 无损检测

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摘要

本发明涉及一种基于偏振参数识别光学薄膜激光损伤的方法和装置，其克服了现有技术中判别薄膜是否发生损伤，常常会造成“误判”现象，适用于激光损伤阈值测量中各类光学元件及镀膜元件表面损伤的在线判别，具有快速、准确的特点。本发明采用的技术方案如下：包括用于安装薄膜测试样品的二维工作台，二维工作台两侧分别设置有入射光路和反射光路，入射光路一侧依次设置有光源、滤光片、平行光管和起偏器，反射光路一侧依次设置有波片、检偏器和光电接收器，高能激光器的激光发射端正对薄膜测试样品表面，在高能激光器的激光脉冲输出方向依次设置有衰减器和会聚透镜，其中二维工作台、波片、检偏器、高能激光器、接收器和衰减器均连接至工业控制计算机。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20220520

✅ 授权

20200825

?? 实质审查的生效：

20200731

📄 公开

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