发明专利已授权

一种金属圆环内六角星三聚体纳米阵列及其制备方法和应用

📄 申请号：CN202010914804.8 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2020-09-03

公开号

CN112014375A

公开日

2020-12-01

申请人

鲁东大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N21_65

IPC 分类号

G01N21_65 , B82Y30_00 , B82Y40_00 ,

技术画像

所属领域

纳米材料纳米材料金属纳米结构微纳加工

应用场景

光学传感, 生物检测, 等离激元器件, 表面增强光谱

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摘要

本发明公开了一种金属圆环内六角星三聚体纳米阵列及其制备方法和应用。该方法首先在硅片上涂覆光刻胶，然后按照绘制的图案进行曝光和显影，在光刻胶上制作出圆环内六角星三聚体形纳米孔洞阵列图案，之后沉积金属，最后进行剥离，去除残留的光刻胶和光刻胶上面的金属，制得金属圆环内六角星三聚体纳米阵列。与常规的金属纳米粒子三聚体相比，本发明构建的金属圆环内六角星三聚体纳米阵列结构中金属外环腔促进了金属六角星三聚体的表面等离激元共振耦合，增强了电磁增强效果，作为拉曼增强基底时具有高的灵敏度，且实现了两种分子共存溶液的分子拉曼信号同时检测。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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