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一种判断CVD实验中碳原子生长结构的方法

📄 申请号：CN202110638881.X 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2021-06-08

申请人

陕西科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C16_26

IPC 分类号

C23C16_26 , C23C16_52 , G16C10_00 ,

技术画像

所属领域

化学气相沉积化学气相沉积碳材料制备材料表征技术

应用场景

碳纳米管制备, 石墨烯生长, 半导体薄膜工艺, 新材料研发, 材料结构分析

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摘要

本发明属于纳米材料制备技术领域，具体涉及一种判断CVD实验中碳原子生长结构的方法。碳原子生长结构包括碳纳米管结构和富勒烯结构；碳纳米管结构的形成能由纳米管帽的曲率能、纳米管的曲率能以及纳米管与金属催化剂之间的边界形成能组成，富勒烯结构的形成能由富勒烯的曲率能、形成富勒烯过程中碳结构与金属催化剂间的界面形成能、碳原子与金属催化剂间的结合能组成，当碳纳米管结构的形成能大于富勒烯结构，则碳原子的生长结构为富勒烯结构，反之为碳纳米管结构。本发明解释了“在CVD实验中，金属纳米粒子表面的碳原子会生长为碳纳米管，而不是富勒烯结构”这一现象，可引导将来更好地设计碳纳米管生长的实验，制备更加优质的碳纳米管。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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