发明专利已授权

一种原位应力调控二次谐波的测量装置及测量方法

Name: 一种原位应力调控二次谐波的测量装置及测量方法
Brand: 南京信息工程大学
SKU: 2022109922146
Availability: InStock

📄 申请号：CN202210992214.6 📄 发布日：2026/08/10

著录项目信息

申请日

2022-08-18

公开号

CN115266609B

公开日

2026-03-20

申请人

南京信息工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N21_25

IPC 分类号

G01N21_25 , G01N21_95 , G01N21_63 , G01N21_01 ,

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

材料表征, 半导体器件应力检测, 光学器件测试, 无损检测, 科学研究

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摘要

本发明公开了一种原位应力调控二次谐波的测量装置及测量方法，装置包括功率调节与测量模块、显微成像模块、应力施加模块以及信号采集模块。飞秒激光器输出的飞秒激光作为激发光，经功率调节与测量模块调节激光功率及偏振后通过二向色镜进入显微成像模块并将飞秒激光聚焦到样品上；样品安装在应力施加模块上，实现对样品应力的定量施加；样品的二次谐波信号通过反射模式由显微成像模块中的物镜镜头收集并经二向色镜进入信号采集模块；信号采集模块实现激发光的滤除并将二次谐波信号聚焦进入光谱仪狭缝，光谱仪与计算机连接，完成应力定量调控下二次谐波信号收集。本发明可原位测量不同定量应力下的功率依赖和偏振依赖的二次谐波信号。

常见问题

这项专利是否已经下证？

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该专利的转让价格是多少？

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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