发明专利已授权

基于图像识别的多片金刚石衬底检测装置及检测方法

Name: 基于图像识别的多片金刚石衬底检测装置及检测方法
Brand: 华侨大学
SKU: 2022107942978
Availability: InStock

📄 申请号：CN202210794297.8 📄 发布日：2026/10/13

著录项目信息

申请日

2022-07-07

公开号

CN115266726A

公开日

2022-11-01

申请人

华侨大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N21_88

IPC 分类号

G01N21_88 , G01N21_952 , G01N21_01 , G01B11_06 , G09F9_30 ,

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

半导体制造, 晶圆检测, 工业自动化检测, 表面缺陷检测

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摘要

本发明公开了基于图像识别的多片金刚石衬底检测装置及检测方法，衬底容纳腔用于放置贴有多片金刚石片的衬底；第一相机和第二相机分别位于衬底容纳腔的正上方和正下方，第一相机对所述衬底进行拍摄以确定需要测厚的位置，第二相机对所述衬底进行拍摄以识别所述衬底的缺陷及气泡；第一激光位移传感器和第二激光位移传感器均安装在位移传动机构上且分别位于衬底容纳腔的上方和下方，位移传动机构可带动第一激光位移传感器和第二激光位移传感器同步移动，以对衬底容纳腔内的衬底进行定位测量，进而得到多片金刚石片处的厚度信息。本装置操作方便，实现多片金刚石衬底贴片后的自动化检测并且具有很高的精度以及可重复性，极大降低人工以及学习成本。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN115266726A

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种口径可调节的杯型砂轮

当前第 / 件

一种弧面光泽均匀性检测方法

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：13 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

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